Foshan Zhemei Vacuum Technology Co., Ltd

产品特征
➢ 多元化设计，可满足各企业研究室以及大学研究室等实验应用


设备参数
设备型号 SCP-300 SCP-400 SCP-500
设备规格 ☐300×300×400 Ø300×400 ☐400×400×450 Ø400×450 ☐500×500×500 Ø500×500
制膜种类 导电单质金属膜、介质膜、光学膜、陶瓷氧化膜、硬膜、非金属膜
电源类型 直流电源、中频电源、射频电源、偏压电源
样品台 配6英寸样品旋转台，1rpm-30rpm内可调；可设计加装偏压或升降功能（可根据客户产品定制）
阴极靶 标准配Ø2”阴极1～4个，3英寸阴极1～2个；可配2、3、4、5、6英寸阴极，强磁靶额外说明
真空室结构 立式前开门/钟罩式结构（双层水套式或水槽式冷却）、上置或后置抽气系统及水路冷却系统
真空系统 旋片泵、罗茨泵、分子泵（或选配：分子泵、低温泵、深冷系统等）；可选配进口机组
加热系统 常温至600℃可调可控，精度±1℃，不锈钢加热管加热
充气系统 质量流量控制仪（1～3路）100sccm/200sccm或定制
极限真空 优于6×10-5pa（空载、洁净、冷态）
保压率 1h≤0.5pa
控制方式 手动、半自动、全自动/触摸屏、PLC、工控
备注 设备规格可按客户产品及特殊工艺要求订制